2012年5月9日星期三

藍寶石與微電子

微電子電路,是指在藍寶石晶片的(1-102)晶面上用異質外延方法生長一層矽單晶膜,然後再在矽單晶膜上製作半導體器件的技術。因SOS微電子電路具有高速度、低功耗和抗輻照等優點,所以在手錶型移動電話,台式電腦或筆記本電腦,高速、高頻無線電通訊,小衛星、宇宙飛船和航天飛機的發展中都具有特別重要的應用。藍寶石與硅單晶具有相近的熱膨脹係數。在(1-102)面的藍寶石晶片上,用異質外延方法可以生長出一層 (100)面的矽單晶膜,然後再在矽單晶膜上製作半導體器件。晶體結構完整的藍寶石襯底基片,是保證獲得結構完整的矽單晶膜的主要條件。 

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